真空高溫 CVD 爐采用高溫化學(xué)氣相沉積的方法，在工件表面沉積各種薄膜，在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛，包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，例如：碳化鉭涂層、碳化硅涂層材料。
例如：可在石墨工件表面沉積碳化鉭涂層和碳化硅涂層。

真空高溫 CVD 爐適用于生產(chǎn)企業(yè)及各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。
設(shè)備構(gòu)成
爐殼采用不銹鋼材質(zhì)，雙層水冷結(jié)構(gòu)，設(shè)有觀察窗和紅外測溫窗、熱電偶測溫裝置。
加熱系統(tǒng)
設(shè)備內(nèi)部安裝加熱器，形成薄膜沉積熱場。
樣品臺系統(tǒng)
樣品臺可同時(shí)掛載若干工件。
測溫和加熱電源
1、溫度控制和檢測全部采用熱電偶/鎢錸熱電偶/紅外測溫儀。
2、加熱電源功率根據(jù)實(shí)際要求定制電源。
主要技術(shù)指標(biāo)

類型	參數(shù)
功率	約150KW
加熱器工作溫度	≤2200℃
真空度	6.67*10-3Pa（冷態(tài)空載）
升壓率	0.08pa/h

關(guān)于我們

鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）與有多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的工程師團(tuán)隊(duì)共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術(shù)前沿、市場前沿和產(chǎn)業(yè)前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng)新yin*ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

鵬城微納技術(shù)（沈陽）有限公司是鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司全資子公司，是半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體工藝和裝備的設(shè)計(jì)中心和生產(chǎn)制造基地。

公司核心業(yè)務(wù)是微納技術(shù)與gao*duan精密制造，具體應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體材料、工藝、裝備的研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造、工藝技術(shù)服務(wù)及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發(fā)和打樣，可為生產(chǎn)企業(yè)提供生產(chǎn)型設(shè)備，可為科學(xué)研究提供科研設(shè)備。

公司人才團(tuán)隊(duì)知識結(jié)構(gòu)完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團(tuán)隊(duì)，還有來自工業(yè)界的高級裝備設(shè)計(jì)師團(tuán)隊(duì)，他們具有30多年的半導(dǎo)體材料研究、外延技術(shù)研究和半導(dǎo)體薄膜制備成套裝備設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗(yàn)。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備xian*jin的半導(dǎo)體研發(fā)設(shè)備平臺和檢測設(shè)備平臺，可以在高起點(diǎn)開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導(dǎo)體和泛半導(dǎo)體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。

公司團(tuán)隊(duì)技術(shù)儲備及創(chuàng)新能力

1998~2002

-設(shè)計(jì)了中試型的全自動化監(jiān)控的MOCVD，用于外延硅基GaN

-設(shè)計(jì)制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機(jī)

2005

-設(shè)計(jì)制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產(chǎn)權(quán)的MBE(分子束外延設(shè)備)，用于外延光電半導(dǎo)體材料

2007

-設(shè)計(jì)超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長

-設(shè)計(jì)制造了光學(xué)級金剛石生長設(shè)備（采用熱激發(fā)技術(shù)和CVD技術(shù)）

2015

-設(shè)計(jì)制造了金剛石涂層制備設(shè)備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜

2017

-優(yōu)化Rheed設(shè)計(jì)，開始生產(chǎn)型MBE設(shè)計(jì)

-開始研發(fā)PSD方法外延GaN的工藝和裝備

2019

-設(shè)計(jì)制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產(chǎn)設(shè)備

2021

-鵬城半導(dǎo)體技術(shù)（深圳）有限公司成立

2022

-子公司鵬城微納成立；

-熱絲CVD設(shè)備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機(jī)、分子束外延與磁控濺射聯(lián)用設(shè)備多套出貨

-獲得ISO9001質(zhì)量管理體系證書

2023

-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術(shù)攻關(guān)；

-科技型中小企業(yè)-入庫編號202344030500018573；

-創(chuàng)新型中小企業(yè)；

-獲50+項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán)zhuan*li；

-企業(yè)信用評價(jià)3A*信用企業(yè)；/ISO三體系認(rèn)證；

-子公司晶源半導(dǎo)體成立

2024~2026

-與jun*gong和上市頭部企業(yè)合作取得突破（X 光感受板及光電器件的薄膜生長等）

-鵬城微納子公司擴(kuò)產(chǎn)

-TGV/TSV/TMV

-微光探測、醫(yī)療影像、復(fù)合硬質(zhì)涂層

-gao*xin*ji*shu企業(yè)

13-6-3-2-7-5-0-0-1-7