產品詳情
生產型 高真空磁控濺射/離子輔助/多弧復合鍍膜機（PVD-1000S系列）該設備廣泛應用于銑刀、鉆頭、軸承、齒輪、鏡片等表面的硬質耐磨涂層制備，集成了工件表面處理、離子清洗、顆粒物控制、磁控濺射、離子輔助鍍膜及反應濺射鍍膜等工藝方法于一體的PVD設備。
可以制備單層膜、多層膜、摻雜膜、金屬膜及合金膜、化合物薄膜等。
設備結構及性能參數
設備由PVD鍍膜室、集成封閉機柜、分子泵+旋片泵真空機組、真空測量系統、工藝氣路系統、磁控濺射靶、直線型離子源、工件架、靶擋板、工件旋轉機構、脈沖直流電源、高能量脈沖電源、中頻電源、射頻電源、偏壓電源、離子輔助鍍膜電源及控制系統、檢測及報警保護系統、水冷管路系統、循環制冷恒溫水箱、計算機+PLC 兩級控制系統組成。
- 整機外形尺寸：2500mm X 2500mm X 2000mm。也可根據用戶產能規模定制尺寸。
- 磁控濺射靶為矩形，靶面尺寸80mm X 300mm，沿真空室壁的圓周排列，可以隨時在線調整靶面與樣片的距離，靶頭伸縮距離150mm。
- 也可根據用戶工件尺寸，配置不同的靶材尺寸。
- 直線型離子源沿真空室壁的圓周排列，數量兩組，工作氣壓0.1-0.3Pa，能量200-5000eV可調，束流強度0.2-1A。
- 工件架為圓筒形結構，工件沿圓周排列，每個工位工件既自轉又公轉。樣品裝載數量大；旋轉運動運行平穩，無抖動；密封可靠。
- 工件可加偏壓。
- 加熱系統采用紅外加熱器，對真空環境無污染，加熱均勻；具有PID功能的智能溫控儀控制加熱功率。工件zui*gao可加熱至500攝氏度。
設備重點性能參數
| 極限真空度 | 7×10^-5Pa |
| 工作背景真空度 | 8×10^-4Pa |
| 工作背景真空到達時間 | ＜30min（空氣濕度低于45％；開門時間＜30min條件下從大氣抽到工作真空度時間) |
| 保壓 | 關機12小時保壓＜10Pa |
| 濺射室外形尺寸 | 直徑 875mm × 高度 1000mm |
| 整機尺寸 | 長 2500mm × 寬 2500mm × 高 2000mm |
| 樣品加熱溫度 | 室溫~500℃ |
| 樣品架公轉速度 | 0；3~12r/min連續可調 |
| 片內膜層均勻性 | ＜5% |
| 片間膜層均勻性 | ＜5% |
| 磁控靶數量 | 4靶（可根據用戶工藝擴展靶位） |
| 直線型離子源 | 2靶 |
| 磁控靶規格 | 80mm × 300mm?？筛鶕脩艄ぜ叽纾渲脤陌幸幐?。 |
| 靶材規格 | 80mm × 100mm × 8mm?？筛鶕脩艄ぜ叽纾渲脤陌胁囊幐?。 |
關于我們
鵬城微納技術（沈陽）有限公司，由哈爾濱工業大學（深圳）與有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起創建。公司立足于技術前沿、市場前沿和產業前沿的交叉點，尋求創新yin*ling與可持續發展，解決產業的痛點和國產化難題，爭取產業鏈的自主可控。
鵬城微納技術（沈陽）有限公司是鵬城半導體技術（深圳）有限公司全資子公司，是半導體和泛半導體工藝和裝備的設計中心和生產制造基地。
公司核心業務是微納技術與gao*duan精密制造，具體應用領域包括半導體和泛半導體材料、工藝、裝備的研發設計、生產制造、工藝技術服務及裝備的升級改造，可為用戶提供工藝研發和打樣，可為生產企業提供生產型設備，可為科學研究提供科研設備。
公司人才團隊知識結構完整，有工程師哈工大教授和博士，為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊，還有來自工業界的高級裝備設計師團隊，他們具有30多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。
公司依托于哈爾濱工業大學（深圳），具備xian*jin的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體和泛半導體裝備的研發、生產、調試以及器件的中試、生產、銷售的能力。
公司團隊技術儲備及創新能力
1998~2002
-設計了中試型的全自動化監控的MOCVD，用于外延硅基GaN
-設計制造了聚氨酯薄膜的卷繞式鍍膜機
2005
-設計制造了中國di*yi臺wan*quan自主知識產權的MBE(分子束外延設備)，用于外延光電半導體材料
2007
-設計超高溫CVD 和MBE，用于4H晶型SiC外延生長
-設計制造了光學級金剛石生長設備（采用熱激發技術和CVD技術）
2015
-設計制造了金剛石涂層制備設備，制備了金剛石電極、微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜
2017
-優化Rheed設計，開始生產型MBE設計
-開始研發PSD方法外延GaN的工藝和裝備
2019
-設計制造了大型熱絲CVD金剛石薄膜的生產設備
2021
-鵬城半導體技術（深圳）有限公司成立
2022
-子公司鵬城微納成立；
-熱絲CVD設備、高真空磁控濺射儀、電子束蒸鍍機、分子束外延與磁控濺射聯用設備多套出貨
-獲得ISO9001質量管理體系證書
2023
-PSD方法外延GaN裝備與工藝的技術攻關；
-科技型中小企業-入庫編號202344030500018573；
-創新型中小企業；
-獲50+項知識產權zhuan*li；
-企業信用評價3A*信用企業；/ISO三體系認證；
-子公司晶源半導體成立
2024~2026
-與jun*gong和和核工業客戶合作取得突破（核反應堆材料的涂層工藝及裝備、X 光感受板及光電器件的薄膜生長）
-鵬城微納子公司擴產
-TGV/TSV/TMV
-微光探測、醫療影像、復合硬質涂層
-gao*xin*ji*shu企業
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