產品詳情
產品簡介
銘衍海氧化硅拋光液 MYH-SOP480 為光通信 + 半導體雙領域超精密拋光核心耗材，核心成分為電子級高純度超細納米氧化硅磨粒，依托柔性拋光原理，可實現光學器件端面原子級光潔、半導體晶圓納米級平整，無損傷精整基材，兼顧光通信超低插損需求與半導體制程嚴苛標準，適配高端量產加工。
超精密鏡面拋光，雙領域高端適配，實現：
- 光器件超低插損、超高回波損耗，滿足 800G/1.6T 超高速光通信；
- 半導體晶圓納米級平整度，適配光刻、蝕刻等后續制程，提升良率；
- 全流程無損傷加工，不劃傷基材、無晶格缺陷、無雜質污染。
三、產品特點
- 磨粒超精高純：電子級高純度球形磨粒，粒徑分布窄，金屬離子含量極低，原子級去除，無劃痕、無殘留、無污染；
- 柔性無損傷拋光：適配光通信石英 / 陶瓷 / 金屬基材、半導體硅基 / 氧化硅基晶圓，無劃傷、無晶格損傷；
- 懸浮穩定：高端水性分散配方，磨粒不團聚、久置不分層，批量拋光一致性≥99.5%；
- 環保易清無殘留：純水基體系，無 VOC、無重金屬，純水可快速沖凈，符合清潔生產要求；
- 雙領域全適配：兼容光通信全規格連接器 / 光器件，適配半導體各類晶圓 / 襯底，一液多用，無需換耗材；
- 高效量產適配：拋光效率較傳統產品提升 60%，磨粒與基材貼合性佳，適配規模化量產。
四、應用范圍
核心用于高端光通信器件超精密鏡面拋光、半導體晶圓納米級精密拋光，精整表面、優化性能、保障制程適配性，適用如下：
一、高端光通信器件
- 全規格連接器：SC/LC/FC/ST/MU 單芯、MPO/MTP 4~48 芯高密連接器及尾纖 / 跳線頭 / 適配器插芯；
- 特種光纖 / 插芯：保偏光纖、大芯徑 / 稀土摻雜光纖連接器，氧化鋯陶瓷 / 玻璃 / 金屬插芯；
- 高端輔件：光纖光柵、傳感器、光開關等核心光學端面。
二、半導體晶圓及基材
- 硅基晶圓：單 / 多晶硅晶圓前道精拋、后道制程表面整飾；
- 氧化硅基晶圓：SiO?/SiON 襯底、SOI 絕緣體上硅晶圓納米級拋光；
- 配套基材：半導體封裝硅襯底、陶瓷襯底精密拋光；
- 微納器件：半導體光電器件、微納傳感器晶圓級芯片表面精整。
五、常見類型
- 半導體專用拋光液：電子級純度定制，適配硅基 / 氧化硅基晶圓，無雜質污染；
- 雙領域通用拋光液：兼顧光通信器件與半導體小型晶圓 / 襯底，一液多用；
- 二合一高效拋光液：集成粗拋 + 精拋，提效 60%，適配光通信連接器量產。
六、儲存與使用
- 儲存：5℃~28℃陰涼干燥密封保存，防凍防高溫、避免溫度驟變；半導體使用需在無塵車間恒溫儲存，遠離酸堿 / 有機溶劑；
- 使用前：輕輕搖勻，半導體制程使用前需精密過濾，本品為即用型，無需稀釋；
- 注意：開封后 2 個月內用完，用后立即密封；拋光后純水沖凈表面，確保無殘留；半導體用款采用電子級潔凈包裝。
