主營產品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | SHG-25-120- |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態 | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數 | 單級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現貨 | 現貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 1450rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 礦產 | 減速比 | 342 |
| 產地 | 日本 | ||
光刻包括兩種基本的工藝類型：負性光刻和正性光刻。harmonic旋轉伺服諧波SHG-25-120-2UJ負性光刻把與掩模版上圖形相反的圖形復制到硅片表面。正性光刻把與掩模版上相同的圖形復制到硅片上。這兩種基本工藝的主要區別在于所用光刻膠的種類不同。光刻工藝過程包括8個基本步驟：氣相成底模、旋轉涂膠、軟烘、對準和曝光、曝光后烘培harmonic旋轉伺服諧波SHG-25-120-2UJ、顯影、堅膜烘培、顯影檢查。
如圖2.15所示，由硅片傳送系統將光刻工藝的基本設備串接在一起組成自動硅片光刻工藝加工系統，實現硅片的自動化光刻加工。在光刻的基本工藝中對準和曝光是最為關鍵的工藝。對準和曝光通常在曝光harmonic旋轉伺服諧波SHG-25-120-2UJ機（通常也被稱作光刻機）上完成，
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