產品詳情
磁場、真空抽放氣系統、配氣系統、監控系統,真空抽 放氣系統由機械泵、日本HD精密半導體諧波CSF-17-50-2UH擴散泵和相應管道、閥門組成,其特征是真空室由等離日本HD精密半導體諧波CSF-17-50-2UH子體發生室,等離子體約束室,處理室組成,等離子體發生室外套有兩組串接的磁場線 圈,在等離子體約束室周圍均布永久磁鋼,處理室內裝有基片架。
去膠機 用于半導體集成電路、太陽能電池以及功率器件等日本HD精密半導體諧波CSF-17-50-2UH刻蝕、去膠工藝,刻蝕方式為等離子體各向同性刻蝕。 擴散爐 半導體器件及大規模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備



