產(chǎn)品詳情
既是化學反應,故免不了「質(zhì)量傳輸」與「化學反應」兩部份機制harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-Fc。由于化學反應隨溫度呈指數(shù)函數(shù)之變化,故當高溫時,迅速完成化學反應。換言之,整體沉積速率卡在質(zhì)量傳輸(diffusion-limited);而此部份事實上隨溫度之變化,不像化學反應般敏感。harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-F所以對于化學氣相沉積來說,,提高制程溫度,容易掌握沉積的速率或制程之重復性。
然而高制程溫度有幾項缺點:?高溫制程環(huán)境所需電力成本較高。
高溫成長之薄膜,冷卻至常溫后,會產(chǎn)生因各基板與薄膜間熱脹縮程度不同之殘留應力(residualstress)。
所以,低制程溫度仍是化學氣相沉積追求的目標之一harmonic質(zhì)量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-F,惟如此一來,在制程技術(shù)上面臨之問 題及難度也跟著提高。



