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臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學9氧化反應。臭氧滅菌有以下3種形式︰
1.臭氧能氧化分解細菌內部降解葡萄糖所需的酶，致使TCA循環無法進行，從而導致細胞生命活動所需的ATP無法供應，使細菌滅活死亡。
⒉.直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。
3.透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。
臭氧殺菌特點：
1.高效性。臭氧消毒滅菌是以空氣為媒介，不需要其他任何輔助材料和添加劑。所體包容性好，滅菌徹底，同時還有很強的除霉、腥、臭等異味的功能。
2.高潔凈性。臭氧快速分解為氧的特征，是臭氧作為消毒滅菌的獨特優點。臭氧是利用空氣中的氧氣產生的，消毒過程中，多余的氧在30分鐘后又結合成氧分子，不存在任何殘留物，解決了消毒劑消毒方法產生的二次污染問題，同時省去了消毒結束后的再次清潔。
3.方便性。臭氧滅菌器一般安裝在潔凈室或者空氣凈化系統中或滅菌室內（如臭氧滅菌柜，傳遞窗等）。根據調試驗證的滅菌濃度及時間，設置滅菌器的按時間開啟及運行時間，操作使用方便。
4.經濟性。通過臭氧消毒滅菌在諸多制藥行業及醫療衛生單位的使用及運行比較，臭氧消毒方法與其他方法相比具有很大的經濟效益及社會效益。在當今工業快速發展中，環保問題特別重要，而臭氧消毒卻避免了其他消毒方法產生的二次污染。
臭氧消毒技術已廣泛用于水處理、空氣凈化、食品加工、醫療、醫藥、水產養殖等領域 。
1.殺菌。可以迅速而徹底地消除空氣中、水中的病毒及細菌。據學術單位實驗報告指出：水中臭氧濃度在0.05ppm時，經處理十至十幾分鐘，細菌滅活率在99%以上。
2.解毒。由于工商業的發展與高度物質文明享受，在生活中到處充滿各種對人體有害的物質：例如：一氧化碳、農藥、重金屬、化肥、有機物、臭味、色素等等，經臭氧處理后，都會分解成對人體無害的安全物質。
3.保鮮。美、日及歐洲先進國家，已大量將臭氧應用在各種食品的儲存上，可以 延長食品的貯藏期及降低腐壞率，以降低損失、提高利潤。
4.漂白。因臭氧有很強的氧化作用，所以本身就是很強的漂白劑，可應用于洗衣、食品、廢水處理。
5.除臭。因臭氧有很強的氧化分解能力，可迅速而徹底地消除空氣中、水中的各種異味。
