產品詳情
Nikon新開發的高精度、高速量測及高NA的CNC影像量測儀VMZ-R Series，不只在精度上再升級，在Ｚ軸的量測高度上也做了提升，讓產品的量測擁有更高的多元性。
●新雷射系統
除原有影像對焦及雷射對焦、掃描等功能，新的雷射感應器也可量測膜的表面及底部，進而測量膜厚。
●創新光源設計
表面光、底部光及環型光皆采用LED的設計，光源更穩定且壽命更長。
環型光源有三種不同照射角度且八方向的設計，讓邊界的量測更加簡易。
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產品陣容為各種樣品提供高速、高精度的測量。
NEXIV VMZ-S系列產品陣容
8段環形光照明器
標準放大變倍鏡頭（類型1-3）配置8段Led內外環形照明器，與此同時支持反射光和透射光照明器。光源強度可以通過改變8段LED環形照明器的照射角度來進行輕松調整。
*類型4的8段環形照明器的照射角度角度是50°，類型A是18°。
15x快速變倍
基于15倍變倍比下5段速度高速變倍系統實現兼顧低倍率下的大視野以及高倍率下的高分辨率檢測（可供類型1，2，3，4鏡頭）
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型號
VMZ-S3020
VMZ-S4540
VMZ-S6555
XYZ行程
300x200x250mm*類型TZ配置低倍放大鏡頭：250x200x200mm
450x400x200mm*類型TZ配置低倍放大鏡頭：400x400x200
650x550x200mm*類型TZ配置低倍放大鏡頭：600x550x200
讀數
≥0.01μm
樣品質量
20kg（精度保證：5kg）
40kg（保證精度20kg）
50kg（保證精度30kg）
允許誤差（L：長度mm）
EUX,MPE EUY,MPE
≤1.2 + 4L/1000 μm
EUXY,MPE
≤2.0 + 4L/1000 μm
EUZ,MPE
≤1.2 + L/1000 μm
探測誤差1),2):MPE PF2D0.8μm
影像探頭探測誤差1),2):MPE PFV2D0.3μm
工作距離
類型1，2和3
類型4
類型TZ
類型A
50mm
30mm
（高倍率）11mm/（低倍）32mm
73.5mm（加激光自動對焦的工作距離是63mm）
相機
黑白/彩色1/3CMOS相機
自動聚焦
激光自動對焦（可選類型A）/影像自動聚焦
激光自動聚焦重復性范圍1),3)
2σ ≤ 0.5 μm
照明
類型1，2，3和4：反射、透射以及8段3角度環形*皆配置白光LED/類型4僅僅支持一個入射角。
類型TZ：左物鏡：反射，暗場；右物鏡：反射，透射，暗場。
類型A：反射光，透射光，以及8段單角度環形*以上皆配置白光LED。
電源/電源功耗
AC 100V-240V，50/60Hz/4A-2A
外形尺寸&質量
主體含平臺（寬X長X高）：700X730X1793mm/約265kg
控制器：190X450X450mm/約12kg
主體含平臺（寬X長X高）：1000x1340x1818mm/約510kg
控制器：190x450x450mm/約12kg
主體含平臺（寬X長X高）：1200x1640x1818mm/約740kg
控制器：190x450x450mm/約12kg
