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NIKON尼康50XDI干涉物鏡現貨
NIKON尼康50XDI干涉物鏡現貨
尼康50X干涉物鏡有貨參數介紹
干涉測量鏡頭可用在非接觸光學壓型測量設備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數等。也可用來檢測表面粗糙度，測量精度非常高，在一個波長之內。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結合，就產生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，更寬的視場和更大的焦深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數值孔徑的場合。采用Nikon200mm鏡筒的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機上。
品名型號 產品號 放大率 數字孔徑(NA)
50xNikon相干測量物鏡 59-314 50X 0.55
焦深(μm) 視場,1/2" 傳感器
0.9 FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm
視場, 2/3" 傳感器
(FOV, 2/3" Sensor)
0.18 x 0.13mm
視場，20直徑視場目鏡(mm)0.22
視場，25直徑視場目鏡(mm)0.5
焦距FL (mm)4.0
生產商Nikon
安裝螺紋RMS
分辨能力 (μm)0.5
類型Mirau
重量 (g)150.00
工作距離WD (mm)3.4
| 干涉物鏡 | ||||||
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2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
| NA（數值孔徑） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 |
| FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 |
| 空間采樣（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 |
| 光學分辨率 藍光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 |
| 光學分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 |
| 大坡度4 | 3.05o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o |
| 垂直分辨率（nm）PSI7垂直分辨率（nm）ePSI7 | <0.1nm（PZT 0.01nm） | |||||
| 垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | |||||
| 垂直范圍PSI(mm) | 5mm | |||||
| 垂直范圍ePSI(mm) | 100mm | |||||
| 垂直范圍VSI(mm) | 10mm | |||||
| 掃描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | |||||
| 一般測量時間（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s | |||||
