主營產品：太陽能光伏、LED和半導體清洗設備
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號 | 定制 |
| 加工定制 | 是 | 外形尺寸 | 其他 |
| 產地 | 其他 | ||
設備用途:
清洗槽用于6/8吋兼容，集成電路制造工藝的最終清洗。配合LOAD and
UNLOAD的上下料，實現干進干出，每批次50枚Cassette Type的高效清洗。共有三種工藝槽，三水槽+一個干燥單元：
1個DHF清洗槽、1個OF槽、1個SC-1槽、1個QDR槽、1個SC-2槽、1個QDR槽、1個干燥槽。
設備功能:
Chemical BATH: 自動換酸，自動洗槽，自動槽內配比。
DIW BATH : Pre Flow and After Change Function。
S/D : 6/8 Inch 自動換位，旋干。
機械手臂:Chuck Open/Close Type，Speed 為可控變動；
Scheduler: 排程計算，實現多批次同時清洗，不發生Process Over Time。
Safety: Door，TEMP，LEVEL，Exhaust…等等INTERLOCK Safety。
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