產品詳情
PFA吹掃裝置是半導體、新材料等領域用于超潔凈氣體反應的專用設備。其核心優勢在于采用高純PFA（全氟烷氧基樹脂）制造，擁有極低的金屬溶出與優異的耐化學腐蝕性，能在嚴苛工藝中提供“零污染”的無水無氧環境。
核心裝置：PFA吹掃瓶（沖擊瓶） 這是系統的核心反應容器，根據功能不同有多種規格。
材質優勢： 耐腐蝕：可耐受強酸、強堿及有機溶劑，無溶脹變形。 耐溫范圍：-200℃ 至 260℃，可滿足高溫或低溫反應需求。 低背景：金屬空白值極低（鉛鈾含量 < 0.01ppb），不會污染樣品。
結構與規格：
容量：通常提供 15ml、22ml、30ml、60ml、120ml、150ml、180ml、375ml 等多種規格。
設計：常配有1/4英寸接口，頂部接口帶有連通到瓶底的管道，用于氣體導入液體中進行洗滌或反應。 功能：可用于氣體洗滌、雜質吸收（如氫氣吸收）、蒸餾分離（如搭建HF蒸餾裝置）等。
系統組件與擴展 一個完整的吹掃系統通常不止一個瓶子，還包括控制部件。
多通道串聯：為滿足不同的工藝需求，系統可定制4位、6位等多位串聯裝置，實現多級氣體純化或同時反應。
控制與連接： 閥門與管路：需配合PFA材質的1/4英寸連接管和PFA閥門使用，以確保整個氣路系統的耐腐蝕性和密閉性。
流量計：在高精度應用中（如晶圓旋涂蝕刻），需要配備PFA吹掃式流量計。
