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單向溢流閥是在溢流閥的基礎上加上單向閥組成的。它能保護泵的系統安全，控制壓力和控制活塞泵的釋壓。在碟型彈簧作用下，保持在上端部位置，使單向閥和閥桿同時關閉。當泵的輸出壓力逐漸升高，單向閥被打開，高壓水系統的壓力等于泵的壓力。當高壓水系統超過調定壓力時（例如關閉工作管路），控制活塞帶動閥桿向上移動，打開旁路，將泵輸出的壓力水，經旁路泄流此時在排出管路回壓作用下，單向閥關閉，單向閥的作用可以使壓力管路與泵內系統分隔開，因而排出管路的壓力得以保持。排出管路壓力降至正常值時，控制活塞在碟型彈簧力的作用下回到初始位置，帶動閥桿下降使旁路關閉，泵重新產生壓力。單向溢流閥使用于固定排量的自動壓力控制系統，當壓力管路完成閉合時，能使泵釋壓運轉，也能使泵溢流時在低壓狀態運轉，既節省動力也能延長泵的使用壽命。。
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