產(chǎn)品詳情
一.產(chǎn)品簡介
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。
二.工作原理
一個角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個角錐反射鏡相對于分光鏡移動，形成變化長度測量光束。從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為0.633μm，長期波長穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。如果兩光程差不變化，探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩(wěn)定的信號。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。應當注意到，激光波長將取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于空氣折射率會隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用于計算測量值的波長值可能需要對這些環(huán)境參數(shù)的變化進行補償。在實踐中，對于技術(shù)指標中的測量精度，只有線性位移（定位精度）測量需要進行此類補償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。
三.產(chǎn)品功能
激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。
激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。
激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。
四.技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
2 測量方式：單頻
2 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
2 動態(tài)采集頻率：50 kHz
2 預熱時間：5-10分鐘
2 工作溫度范圍：0~40℃
2 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
2 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
2 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
2 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測量
2 測量距離：0-40m
2 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
2 測量分辨率：1nm
2 測量最大速度：4m/sec
角度測量
2 軸向量程：0-15m
2 測量范圍：±10°
2 測量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
2 測量分辨率：0.1μm/m
直線度測量
2 軸向量程：0.1-4.0 m
2 測量范圍：±2.5 mm
2 測量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學鏡移動距離，單位：m）
2 測量分辨率：0.01μm
垂直度測量
2 測量范圍：±3/M mm/m
2 測量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
2 測量分辨率：0.01μm/m
平面度測量
2 軸向量程：0-15 m
2 測量范圍：±1.5 mm
2 測量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學鏡移動距離，單位：m）
2 測量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測量
2 角度測量范圍：0-360°
2 精密轉(zhuǎn)臺角度增量：5°
2 精密轉(zhuǎn)臺分度精度：±1秒
2 精密轉(zhuǎn)臺重復性：0.2秒
