泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。
e.多室旋片式真空泵：在一個泵殼內并聯裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體或汞蒸汽）作為工作介質的餓噴射真空泵
（3） 擴散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作?？煞譃椋?br /> ① 自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵
② 分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴，它是x一種多級油擴散泵。
（4） 擴散噴射泵：cuum Pump）輸運泵 
 

氣體捕集泵 吸附泵 
 
 

吸氣劑泵 
 
 

吸氣劑離子泵 蒸發離子泵
 
 

濺射離子泵 
 

低溫泵 
 
 

按真空度分 粗真空度 
 
 
 

高真空度 滑閥式真空泵
 
 
 

旋片式真空泵 
 
 

羅茨真空泵 
 
 

超高真空度 
 
 
 

氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：
變容真空泵
利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種：
（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。
（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種形式：
① 油封式真空泵：它是利用油類密為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
機械選擇
⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
⑵真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩，振動小。
⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵
多室旋片式
干式螺桿 

液環式 

羅茨真空泵 

動量傳輸泵 分子真空泵 牽引分子泵
 

渦輪分子泵 
）密封的變容真空泵。
③液環式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環液，環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。
④羅茨真空泵：泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子，轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。
動量傳輸泵：這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
（1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。
②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。
③ 復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的一種復合式分子真空泵。
（2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：
① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。
②它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。
（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。
氣體捕集泵
這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵
吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。
吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
（1）蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。
（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺射散出來的吸氣材料上，以實現抽氣目的的一種真空泵。
低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵
按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。
粗真空系
主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫藥、化工等行業的真空蒸發、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。
主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業中。
是獲得粗真空的主要真空設備之一。廣泛應用于化工、食品、建材等部門，特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發等工藝過程中更為適宜。
無油(耐腐蝕)立式往復真空泵是臥式真空泵的更新換代產品，是獲得粗真空的主要設備。由于采用全密封裝置，實現了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環使用了自潤滑材料，便實現了先進的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業的真空蒸餾、真空蒸發、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。
高真空系
滑閥式真空泵
（Rotary Piston Va 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。
③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油
復合分子泵 封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種形式。
a旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。
b.滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。
c.定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。
d.余擺線式
真空泵 (2張)
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。
羅茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一種旋轉式變容真空泵，須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內，有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。主要用于真空機組的主泵，需要用前級泵輔助。如：水環式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。國內最大羅茨真空泵保持紀錄為20000L/S。
性能參數
參數名稱 參數定義
真空泵的極限壓強 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓強。
真空泵的抽氣速率 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
真空泵的抽氣量 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。
真空泵的起動壓強 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。
真空泵的前級壓強 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
真空泵的最大前級壓強 真空泵口最大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
真空泵的最大工作壓強 真空泵的最大工作壓強單位是Pa，它是指對應最大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
真空泵的壓縮比 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
真空泵的何氏系數 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。
真空泵的抽速系數 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
真空泵的返流率 泵的真空
廣泛應用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術、新工藝的生產與研制中。
滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。
用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫藥等行業的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。
旋片式真空泵
真空泵返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。
水蒸氣允許量 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵 在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
術語解釋
真空的定義
真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態
真空度
處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度單位
通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
托與帕的轉換
1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托
平均自由程
作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
流量
單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“
最大允許水蒸氣入口壓強 最大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的最高入口壓強。
壓強范圍
真空泵種類 工作壓強范圍（Pa） 起動壓強（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
氣鎮閥
油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節閥，當打開閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。
真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。
真空蒸鍍
在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
真空干燥
利用真空環境下沸點低的特點來干燥物品的方法。
真空系統常用名稱
①主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
應用情況
液環泵 雖然液環泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1U”。 U=Q/(P2- P1)
壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符號：（Atm）。
極限真空
真空容器經充分抽氣后所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下性能穩定和運行可靠，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。 
旋片真空泵
旋片真空泵
羅茨泵 
從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcabl、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。
國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。
羅茨泵工作原理
羅茨泵工作原理
分子泵 
分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
抽氣速率
在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）
冷阱（水冷擋板）降低能耗。 
液環泵工作原理
液環泵工作原理
滑閥泵 由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性。 
滑閥泵工作原理
滑閥泵工作原理

直聯旋片泵 隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，
由于分子
如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

綜上所述，水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。
水環泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優點
結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。
結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。