產品詳情
CVD設備技術說明
一、產品特點
采用臥式結構，占地空間小，操作方便，可對一些小型工件在真空或者保護氣氛下進行熱處理，是高校、科研院所、工礦企業等做CVD、氣氛保護、還原和真空處理用的理想產品。
二、主要技術參數
1、效工作區：Φ100×200mm
2、均溫區誤差：≤±5℃
3、最高溫度：1000℃
4、長期工作溫度：850℃
5、儀表控溫精度：±1℃
6、極限真空度：5Pa
7、壓升率：≤1.33Pa/h
8、水蒸氣系統：恒溫水箱（室溫-100度，水位可看，溫度可調）
9、爐管：石英管1套，310S管1套
10、快速升溫速率：≥20℃/min
11、慢速升溫、降溫速率：≤0.5℃/min
12、50段智能化程序控制
三、結構組成與特點
本產品由爐體、爐管、控制系統、加熱元件、水冷系統和真空系統等組成
1、爐體：爐體由型鋼和鋼板組焊成兩哈夫型，中間氧化鋁纖維作為爐襯，在高溫時能把爐蓋打開實現快速降溫，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，可以通氣氛或抽真空，氣動彈簧支撐結構讓操作者可各角度安全開啟，方便操作。
2、爐管：氧化鋁管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態。法蘭采用卡箍快捷接頭，減去了取放料時的繁瑣操作， 爐管工件橫穿與上下各6組進口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內外溫差可控制在3度左右，爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭）端口可按實際使用擴展。
3、真空系統： 采用2XZ-4B 直聯泵和真空閥門組成，真空機組上設有放氣閥和充氣閥。
4、加熱元件：選用進口高溫鐵鉻鋁制成螺旋形電阻絲，壓制在成型纖維模塊里。放置在爐襯中，對爐管圓周進行加熱。
5、水冷系統：從自來水管上接入爐管冷卻端和泵的冷卻管.
6、控制系統：模糊PID控制和自整定調節，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能。B型熱電偶測溫，控溫儀表選用廈門宇品牌。
7、恒溫水槽：設備進氣系統中設有密封的恒溫水槽，溫度在室溫-100度可調，進氣管路上設有伴熱帶，溫度在室溫-100度可調。
8、爐架：整個爐體和恒溫槽放置在爐架上面，爐架為鋁合金材質。
