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一種離型材用氮化硅粉末漿料及其制造方法

一種離型材用氮化硅粉末漿料及其制造方法



一種離型材用氮化硅粉末漿料及其制造方法、離型材用氮化硅粉末、離型材、以及用以獲得該離型材用氮化硅粉末漿料的漿料用氮化硅粉末及其制造方法、以及多結晶硅錠的離型性良好的多結晶硅鑄造用鑄模及其低成本制造方法,上述離型材用氮化硅粉末漿料無需使用粘合劑等添加劑且無需經過燒結步驟即可于多結晶硅鑄造用鑄模形成不僅多結晶硅錠的離型性良好且多結晶硅錠鑄造后對鑄模的密接性也良好的離型層。




一種離型材用氮化硅粉末的含氧量等同于經過將離型材用氮化硅粉末漿料涂布于鑄模后進行干燥的一連串處理時的離型層所含的氮化硅粉末的含氧量值,為0 .7~ 5 .0質量%。在使離型材用氮化硅粉末漿料干燥后的含氧量未達0 .7質量%的離型材用氮化硅粉末的情況下,若將離型材用氮化硅粉末漿料涂布于鑄模后進行干燥,則離型層與鑄模 以及離型層粒子間的密接性較差,僅通過干燥處理而無法于鑄模表面形成牢固的離型層。又,在使離型材用氮化硅粉末漿料干燥后的含氧量超過5 .0質量%的離型材用氮化硅粉末的情況下,若將離型材用氮化硅粉末漿料涂布于鑄模后進行干燥,則盡管離型層粒子間以及鑄模與離型層的密接性提高,但干燥過程中多會發生薄片剝離,又,離型層與硅熔融液的潤濕性增強,因此硅錠與鑄模表面發生固著,或已凝固的硅錠于離型時產生缺陷、破損,多結晶硅錠產生破裂而導致良率下降。

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