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設備運行時首先由微波發生器發生微波，經饋能裝置輸入微波加熱器中；物料由傳輸系統送至微波加熱腔體，此時物料中的水分在微波能的作用下升溫蒸發，水蒸氣通過抽濕系統排除而達到干燥的目的。物料中的細菌則被微波電磁場作用下所產生的生物效應和熱效應殺滅。由于微波是直接作用于物料，所以干燥溫度低、速度快，物料中的有效成份的損失很小。
微波真空干燥箱的微波加熱是一種輻射加熱，是微波對物體直接發生作用，使其內外同時被加熱，無須通過對流或傳導來傳遞熱量，具有加熱速度快、熱效率高、處理時間短，物料內外溫度均勻，因此節約能源，干燥效率高，干燥質量好。
真空微波干燥箱是微波能技術與真空技術相結合，并通過高科技的靜態智能化控制的一種新型微波能應用設備，它兼備了微波干燥及真空干燥的優點，同時克服了常規真空干燥溫度高、時間長、能耗大的缺點，在一般物料干燥過程中，干燥溫度30-60攝氏度，具有干燥產量高、質量好、加工成本低，同時通過智能化控制系統可以精確控制水分等優點。此外在低溫低壓下干燥時氧含量低，被干燥物料氧化反應減弱變緩，從而保證了物料的風味、外觀和色澤，易于干燥熱敏性物料，特別是對中藥提取物浸膏、牛肉醬、化工原料、農產品的低溫干燥，具有其獨特的優勢。
