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經過長期研究發現，當化學物質通過吸收能量（如熱能、光子能量等），可以使自身的化學性質變得更加活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學鍵鍵能，即可使得化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。我們通過提供UV-D波段內的真空紫外線（波長范圍170-184.9nm），促使有機廢氣物質通過吸收該波段的光子，而該波段的光子能量大于絕大多數的化學鍵鍵能，使得有機物質得以裂解；再通過裂解產生的臭氧將其氧化成簡單、無害、穩定的物質，如H2O和CO2等。
UV光解原理簡述：在波長范圍170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧氣被裂解，然后組合產生臭氧；另一方面將惡臭氣體的化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使惡臭氣體最終被裂解、氧化生成簡單的穩定的化合物，如SO2、H2O等。
廢氣分子被裂解成原子、自由基后，再通過由有充分的氧氣被高能UV光照射生成的臭氧將其氧化成穩定的小分子，如CO2、H2O等，從而達到廢氣凈化的目的。
在滿足有機廢氣分子鍵能低于UV光子能量以及含氧量充足條件下，根據風量情況配置合適的UV光解設備，可以保證達到《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二時段排放標準。
