產(chǎn)品詳情
志勝SMO系列無塵烤箱憑借精準(zhǔn)溫控與潔凈環(huán)境控制，成為半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。其采用Class 100級高效空氣過濾系統(tǒng)，通過封閉自循環(huán)風(fēng)道設(shè)計，持續(xù)過濾箱內(nèi)空氣，有效隔絕外界粉塵顆粒，為硅片、芯片等半導(dǎo)體材料提供無塵烘烤環(huán)境，避免微粒附著導(dǎo)致的短路或性能衰減。設(shè)備搭載進(jìn)口PID智能溫控系統(tǒng)，控溫精度達(dá)±0.5℃，支持多段程序升溫，可精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體涂膠預(yù)處理、堅膜固化等不同工藝的溫度曲線，消除熱應(yīng)力引發(fā)的微裂紋缺陷。同時，內(nèi)置快速降氧模塊，30分鐘內(nèi)可將箱內(nèi)氧含量降至1ppm以下，防止敏感半導(dǎo)體材料氧化變質(zhì)。此外，不銹鋼鏡面內(nèi)膽無縫焊接工藝，杜絕清潔死角，配合低噪熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，確保溫度均勻分布，大幅提升半導(dǎo)體元件封裝固化的良品率，助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、降低能耗成本。
