產(chǎn)品詳情
志勝SMO系列無塵烤箱憑借精準(zhǔn)溫控與潔凈環(huán)境控制,成為半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備。其采用Class 100級高效空氣過濾系統(tǒng),通過封閉自循環(huán)風(fēng)道設(shè)計,持續(xù)過濾箱內(nèi)空氣,有效隔絕外界粉塵顆粒,為硅片、芯片等半導(dǎo)體材料提供無塵烘烤環(huán)境,避免微粒附著導(dǎo)致的短路或性能衰減。設(shè)備搭載進(jìn)口PID智能溫控系統(tǒng),控溫精度達(dá)±0.5℃,支持多段程序升溫,可精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體涂膠預(yù)處理、堅膜固化等不同工藝的溫度曲線,消除熱應(yīng)力引發(fā)的微裂紋缺陷。同時,內(nèi)置快速降氧模塊,30分鐘內(nèi)可將箱內(nèi)氧含量降至1ppm以下,防止敏感半導(dǎo)體材料氧化變質(zhì)。此外,不銹鋼鏡面內(nèi)膽無縫焊接工藝,杜絕清潔死角,配合低噪熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),確保溫度均勻分布,大幅提升半導(dǎo)體元件封裝固化的良品率,助力企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程、降低能耗成本。




