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低溫等離子體技術原理,當外加電壓達到氣體的放電電壓時,氣體被擊穿,產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著,低溫等離子體等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子,如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應,最終轉化為CO2和H2O等物質,從而達到凈化廢氣的目的。
其凈化作用機理包含兩個方面:一是在產生等離子體的過程中,高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能,使之分解為單質原子或無害分子;二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基,這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合,在電場作用下,使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時,臭氣分子的化學鍵斷裂,直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3,與有害氣體分子發生化學反應,最終生成無害產物。


