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低溫等離子凈化設備
等離子凈化設備又稱低溫等離子凈化設備，在電化總的設計概念下分三個激發系統，即微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
凈化機理
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:
(1)電場+電子高能電子
(2)高能電子+分子(或原子) >(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3)活性基團+分子(原子) +生成物+熱
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
等離子凈化設備又稱低溫等離子凈化設備，在電化總的設計概念下分三個激發系統，即微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
凈化機理
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:
(1)電場+電子高能電子
(2)高能電子+分子(或原子) >(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
(3)活性基團+分子(原子) +生成物+熱
(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。
