美國InstruTech CCM502SHC是一款高性能的冷陰極電離真空計,專為工業和科研領域的真空測量而設計。該產品采用先進的雙倒置磁控管設計,能夠提供高精度和高重復性的真空測量結果,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗以及工業爐等領域。美國INSTRUTECH CCM502SHC 大黃蜂冷陰極倒置磁控電離 真空計模塊
一、技術特點
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雙倒置磁控管設計:CCM502SHC采用獨特的雙倒置磁控管設計,能夠有效減少磁場干擾,提高測量的穩定性和重復性。
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寬量程測量:其測量范圍為1×10?? Torr至1 Pa(1000 mbar),能夠覆蓋從高真空到大氣壓的多種應用場景。
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高精度與重復性:該真空計的精度為±30%讀數,重復性精度為±5%讀數,確保在不同環境下的可靠測量。
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靈活的安裝與輸出:CCM502SHC支持任意方向安裝,提供0-10.5V的對數線性模擬輸出,便于與自動化控制系統集成。
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耐高溫設計:其工作溫度范圍為5℃至55℃,烘烤溫度可達150℃,適用于高溫環境下的真空測量。
二、應用場景
CCM502SHC適用于多種工業和科研領域:
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半導體制造:用于真空腔體內的壓力監測,確保工藝過程的穩定性和重復性。
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真空鍍膜:在鍍膜過程中提供精確的真空度測量,優化薄膜沉積條件。
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科研實驗:適用于質譜分析、電子顯微鏡等高精度實驗設備的真空測量。
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工業爐與制冷設備:用于工業爐、建筑玻璃、冰箱和空調等設備的真空檢測。
三、優勢總結
美國InstruTech CCM502SHC憑借其雙倒置磁控管設計、寬量程測量能力和高精度輸出,成為工業和科研領域中理想的真空測量工具。其靈活的安裝方式和耐高溫特性使其能夠適應各種復雜環境,為用戶提供高效、可靠的真空測量解決方案。美國INSTRUTECH CCM502SHC 大黃蜂冷陰極倒置磁控電離 真空計模塊