產品詳情
半導體真空閥門-半導體真空蝶閥產品應用
奇高BA級蝶閥是采用旋轉驅動的潔凈蝶閥，密封板搭配Du特的設計，可完全隔絕粉塵，具有快速開閉、安裝快速、尺寸小，壽命長等優點。
氣動蝶閥的密封設計，可應用在需完全隔絶具污染及腐蝕氣體制程中。BA級蝶閥閥門安裝于各半導體領域。
半導體真空閥門-半導體真空蝶閥設計特征
? 旋轉氣缸驅動或手動，快速開啟關閉
? Du特的氣密設計
? 密封板位置指示器
? 任意安裝方向
? 高氣導
? 150萬周期壽命
Body / P late / Shaft 材質
不銹鋼 (Stainless steel)
奇高主要服務于半導體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統、科研機構等高科技領域;多年來持續占有全球市場主要市場份額。奇高閥門專注于真空閥門領域，因其強大的研發創新和業界聞名的好品質，半導體芯片設備以及太陽能設備制造廠商都在其機臺設備中大量采用了奇高公司的產品。
保固條件
1.自客戶收到貨品起一年內, 或到達產品設定的使用次數, 先到者為準
2.操作環境限于空氣, 惰性氣體及真空
3.因天然災害, 錯誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內
