產品詳情
真空位移臺 - 高真空環境精密定位專家
產品概述
深空創想專業級真空環境用精密位移臺，采用超低出氣材料與真空優化設計，可在10?3Pa及以上真空環境中實現納米級精密定位，滿足高潔凈度工藝需求。
核心技術
- 真空密封系統：全密封結構與磁流體傳動技術
- 低釋氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種工程塑料
- 潔凈驅動方案：直線電機或真空兼容步進電機
- 精密導向系統：交叉滾柱導軌或空氣軸承設計
性能參數
- 行程范圍：50mm-300mm（支持定制）
- 定位精度：±0.1μm（高可達±10nm）
- 真空兼容：10?3Pa～10??Pa（支持烘烤至150℃）
- 重復定位：±0.05μm
- 移動速度：1-100mm/s可調
主要應用
- 半導體制造：光刻機對準、晶圓檢測、芯片封裝
- 真空鍍膜：基片精確定位、多層膜沉積
- 科研儀器：
- 電子顯微鏡樣品定位
- 同步輻射光源實驗裝置
- 表面分析儀器樣品臺
- 微納加工：聚焦離子束、電子束直寫設備
- 光學檢測：真空環境下的光學元件測試
選型建議
1. 真空等級匹配
- 明確工作真空度要求
- 確認是否需要烘烤功能
- 評估出氣率控制標準
2. 性能參數選擇
- 根據應用確定行程需求
- 明確定位精度和速度要求
- 考慮負載能力及穩定性
3. 安裝配置
- 確定臺面尺寸和安裝孔位
- 選擇適合的驅動方式
- 考慮多軸組合需求
質量控制
- 每臺產品經過真空環境性能測試
- 提供出氣率及潔凈度檢測報告
- 支持半導體設備配套認證
- 專業技術團隊提供應用方案
產品概述
深空創想專業級真空環境用精密位移臺，采用超低出氣材料與真空優化設計，可在10?3Pa及以上真空環境中實現納米級精密定位，滿足高潔凈度工藝需求。
核心技術
- 真空密封系統：全密封結構與磁流體傳動技術
- 低釋氣材料：不銹鋼主體+陶瓷組件+特種工程塑料
- 潔凈驅動方案：直線電機或真空兼容步進電機
- 精密導向系統：交叉滾柱導軌或空氣軸承設計
性能參數
- 行程范圍：50mm-300mm（支持定制）
- 定位精度：±0.1μm（高可達±10nm）
- 真空兼容：10?3Pa～10??Pa（支持烘烤至150℃）
- 重復定位：±0.05μm
- 移動速度：1-100mm/s可調
主要應用
- 半導體制造：光刻機對準、晶圓檢測、芯片封裝
- 真空鍍膜：基片精確定位、多層膜沉積
- 科研儀器：
- 電子顯微鏡樣品定位
- 同步輻射光源實驗裝置
- 表面分析儀器樣品臺
- 微納加工：聚焦離子束、電子束直寫設備
- 光學檢測：真空環境下的光學元件測試
選型建議
1. 真空等級匹配
- 明確工作真空度要求
- 確認是否需要烘烤功能
- 評估出氣率控制標準
2. 性能參數選擇
- 根據應用確定行程需求
- 明確定位精度和速度要求
- 考慮負載能力及穩定性
3. 安裝配置
- 確定臺面尺寸和安裝孔位
- 選擇適合的驅動方式
- 考慮多軸組合需求
質量控制
- 每臺產品經過真空環境性能測試
- 提供出氣率及潔凈度檢測報告
- 支持半導體設備配套認證
- 專業技術團隊提供應用方案
深空創想真空位移臺——在潔凈純凈的真空環境中，實現微米級的精準定位，助力高端制造與前沿科研突破精度極限。
